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非晶硅薄膜的基本性能及其在台面硅器件上的钝化
一、非晶硅薄膜的基本性质及其在台面型硅器件上的钝化作用(论文文献综述)何宇亮[1](1983)在《非晶硅薄膜的基本性质及其在台面型硅器件上的钝化作用》文中提出利用非晶硅薄膜的半...
激光再结晶多晶硅缺陷的 TEM 观察
一、激光再结晶多晶硅中缺陷的TEM观察(论文文献综述)施长治[1](2011)在《多晶硅纳米薄膜在压阻传感器应用中的关键技术研究》文中认为在压阻传感器方面,与单晶硅相比,多晶硅...