一、光硬化树脂电解质湿度传感器（论文文献综述）
董惠泉,杨琦华[1]（1984）在《光硬化树脂电解质湿度传感器》文中研究说明氯化锂型电解质湿敏元件怕结露、不耐污染的弱点为众人注目。作者利用光化学原理制作的硬化树脂电解质感湿材料,研制成工作温度达80℃的线性组合式湿度传感器,它的显著特点是耐湿和耐污染。本文介绍这种新元件的研制原理,性能特点和对耐湿、耐污染和耐温性能所作的可靠性试验。
李树山[2]（1988）在《电子式湿度传感器(一)》文中提出 一、概述 湿度的测量与控制在科学技术日益发达的今天,越来越显示出其重要性,在国民经济各个部门,在国防、科研及人民生活中有着非常广阔的应用领域。由于复杂的湿度测量与控制的需要,使得过去为之满足的天然毛发湿度计或化学感应式湿度计,已远远不
梁锡沛[3]（1987）在《我国电子式湿度传感器的发展现状和问题》文中研究指明 一、概况湿度测量是一个非常广阔的领域。它涉及到国民经济各部门,在国防、科研、人民生活中,都有着十分密切的联系。另一方面,它的技术范局宽阔。例如,低温下的湿度测量,其霜点温度低达-70℃,甚至更低。而高温湿度
凌娇[4]（2013）在《电容式微湿度传感器敏感结构研究》文中进行了进一步梳理湿度传感器不仅在传统的工业、农业、商业、医学和气象学上不可或缺，更在现代军事、微电子器件和航空航天等前沿科技领域占据着举足轻重的地位。随着MEMS技术和集成电路技术的迅猛发展，湿度传感器越来越向着集成化、微型化和多功能化方向发展，电容式微湿度传感器就是在此基础上发展起来的一类依靠敏感电容变化来检测湿度变化的微尺寸传感器，与传统湿度传感器相比，它在加工工艺、制造成本和感湿性能等方面都得到了较明显的提升。本论文是南京信息工程大学气象探测与信息处理重点实验室资助的开放基金课题，对微尺寸湿度传感器的结构研究有一定的促进作用。本文研究的电容式微湿度传感器是在两电极中间涂覆感湿材料，湿度改变影响感湿材料介电常数，从而影响电容值，通过外围电路检测电容信号，得到湿度的变化情况。感湿材料、敏感电容结构和加工工艺都是影响电容湿度传感器的重要因素，本文选用聚酰亚胺作为感湿材料，分析了感湿材料和敏感结构的优缺点，并用COMSOL仿真了两种电容模型，得到了温度、相对湿度与电容的关系曲线，最后制作了一个悬浮叉指结构电容式湿度传感器，并完成测试验证。本论文主要研究内容包括以下几个方面：第一，理论分析。对比分析空气、多孔氧化物、高分子聚合物以及纳米材料等作为感湿材料的优缺点，选取聚酰亚胺作为本文所用感湿材料，详细介绍了聚酰亚胺的性能和制备过程，并综合多种物理感湿模型，得到了本文所用聚酰亚胺的感湿机理。第二，仿真分析。在两种基本电容模型基础上进行改进，设计了悬浮叉指结构用以减小寄生电容的影响，利用COMSOL软件仿真，结果显示悬浮叉指结构起到了减小寄生电容影响的作用。第三，工艺与测试。针对悬浮叉指结构设计加工工艺，并对制成的湿度传感器进行性能测试，结果显示灵敏度随湿度变化而变化，湿滞性能良好。
黄鸿斌,黄鸿雁[5]（1988）在《化学量传感器》文中研究表明 三、电解质类湿度传感器 电解质类湿度传感器的应用已有长久历史,特别是氯化锂湿度传感器,至今仍被广泛使用。我们以这种传感器为例加以介绍。 （一）工作原理 空气的相对湿度变化,可由湿度传感器的感湿膜敏锐地反映出来。氯化钾湿度传感器的感温度膜由氯化理和聚乙烯醇（PVA）或聚乙烯缩乙醛构成。氯化锂是吸湿剂,聚乙烯醇或聚乙烯缩乙醛是粘合
王竹仪[6]（2009）在《电阻式纳米氧化物湿敏元件的特性研究》文中提出湿度监测、控制在工业、农业、日常生活、科学研究等方面受到越来越多重视,电阻式湿度传感器是有着广泛应用的一类化学传感器,它是基于湿敏材料的吸附作用来工作的,即湿敏材料吸附和脱附水分子后能引起材料的阻抗发生变化,从而引起元件输出信号发生变化。在本论文中作者合成并表征了两类湿敏材料,研究了基于这两类功能材料的电阻型湿度敏感元件的电学特性及敏感机理。将柠檬酸法制备的具有不同X值的LaCoxFe1-xO3纳米粉体材料用作厚膜技术制备敏感器件的敏感浆料,对其进行湿敏性能参数测试,结果显示敏感性能相对最佳的材料为LaCo0.3Fe0.7O3。对此材料进行碱金属的物理掺杂、化学掺杂改性,有效地降低了材料的电阻,使该材料的湿敏元件能够在整个湿度量程内工作,元件的感湿灵敏度大大提高。以钛酸四丁酯为前驱物,在溶胶凝胶法合成样品的过程中添加正硅酸乙酯后HF处理制得的TiO2的比表面积大大提高,显著改善了传统方法制备的TiO2在低湿区灵敏度差的现象,湿敏元件在整个湿度区对湿度的变化都有很好的响应。将电介质物理的理论用于解释这两类材料的湿敏元件的敏感机理,根据实验,得到了元件在不同的湿度环境下的复阻抗谱图,设计了直流瞬时极性反转实验得到了湿敏元件在不同的湿度环境下的具体导电粒子。认为这两类湿敏材料在整个湿度量程中均由两类粒子参与导电,即电子和离子。随着湿度的不断增大,电子参与导电的作用逐渐减弱,而离子参与导电的作用逐渐增强,实验得到的结果与目前较为流行的电子-离子导电理论相吻合。这些研究为寻找新型的湿敏材料和对当前一些湿敏材料的改性研究有一定的意义。
黄然[7]（2016）在《基于湿敏材料的光干涉型光纤湿度仪的研究》文中认为本论文的主要研究内容是光纤湿度传感器,主要从湿敏膜的角度出发,研究了几种湿敏膜的湿敏特性,并通过实验,对湿敏膜的有无对光纤传感器湿度灵敏度大小的影响,湿敏膜层数对光纤传感器灵敏度大小的影响做了一系列研究。1、对以往研究中较少或从未使用过的湿度敏感膜进行了光纤湿度传感器湿敏材料可能性的验证。通过实验可以得出,甲基纤维素,羧甲基纤维素钠,阿拉伯胶等都可以作为光纤传感器的湿度敏感材料,为以后的湿度传感器研究提供湿敏材料的新选择。2、对光纤椎腰放大结构进行了镀湿敏膜（聚乙烯醇湿敏膜）前后传感器湿度灵敏度的对比试验,得出在镀膜后,该传感器的湿度灵敏度提高接近10倍,证实了湿敏膜对光纤湿度传感器灵敏度的重要性。3、对光纤椎腰放大结构进行了湿敏膜（羧甲基纤维素钠湿敏膜）不同层数的涂覆,实验得出了湿敏膜对光纤传感器的湿度灵敏度在一定范围内都有正比的影响,当湿敏膜层数超过一定限制后,传感器的湿度灵敏度将不再随着湿敏膜层数的增加而加大,这是由于多层膜对水蒸气的吸收会使得湿敏膜的溶胀明显变化,使得该传感器收到一定的拉伸应力作用,影响该传感器的湿度灵敏度。4、提出了一种新的结构:花生型-拉椎-花生型结构,并对该结构进行折射率灵敏度验证（湿度的大小会对湿敏膜的折射率有影响,所以对湿度的测量可以转化为对折射率的测量）。验证结果证明该结构对折射率敏感,给湿度测量提供一种新的光纤传感器结构的可能。
骆如枋[8]（1985）在《湿度和湿度传感器》文中认为 湿度传感器是最重要的、应用最广泛、最普及的化学传感器之一,其品种之繁多、应用之广泛,为其它化学传感器所不及。几乎国民经济的所有领域,人类生活的各个方面都需要应用湿度传感器对湿度进行检测和控制。科技的发展,除了继续需要各种可靠、廉价、使用方便的通用湿度传感器以外,还需要有能满足各个工业部门特殊需要的各种新型湿度传感器。本文将就各种常见的湿度传感器作一简要的归纳和介绍。
包小华[9]（2016）在《基于石墨烯的QCM湿度传感器的制备与特性研究》文中认为湿度是一个表示大气干燥程度的物理量,与人类生活和国民生产息息相关;环境湿度对人类的健康影响很大,同时对工农业生产、气象、环保、航天、国防等领域也有重要影响。随着科学技术的日益进步,各行各业对高性能湿度传感器的需求也日益增加。因此,开发灵敏度高、响应迅速、湿滞小、成本低的湿度传感器具有非常重要的意义。本文以石英晶体微天平（QCM）为传感器件,制备了聚乙烯亚胺/氧化石墨烯（PEI/GO）自组装薄膜和氧化石墨烯/氧化锌（GO/ZnO）分层薄膜湿度传感器,对敏感薄膜进行了分析表征,并系统研究了室温条件下传感器在11.3-97.3%RH湿度范围的湿敏特性。论文主要包括以下两个方面:（1）采用静电层层自组装工艺在QCM器件上沉积了PEI/GO湿敏薄膜,室温条件下研究了自组装薄膜结构、层数对QCM湿度传感器湿敏性能的影响。结果表明PEI膜层在最上层时具有良好的湿敏特性,传感器响应值随自组装层数的增加而增加,最大频率变化为1802Hz,而湿滞则随着自组装层数的增加先减小后增大,最小湿滞为4.2%RH。此外,还初步探索了PEI/单层氧化石墨烯（SGO）自组装薄膜的湿敏特性,9层PEI/SGO-QCM湿度传感器的最大响应值为3338Hz,但响应/恢复时间和湿滞相较PEI/GO传感器没有明显改变。结合扫描电镜（SEM）、紫外—可见光谱、傅里叶变换红外光谱等对湿敏机理进行了分析,其中红外光谱证明了PEI和GO之间存在酰胺化反应,自组装薄膜中含有较多的亲水基团,水分子主要通过物理吸附作用吸附在薄膜上。（2）采用气喷工艺在QCM器件上沉积了GO/ZnO分层薄膜,测试了该传感器的湿敏特性,并研究了分层薄膜结构对QCM湿度传感器湿敏性能的影响。结果表明GO/ZnO（ZnO膜层在下）薄膜传感器的湿敏性能优于ZnO/GO（ZnO膜层在上）,其灵敏度达到41.1 Hz/%RH,响应/恢复时间最小达到2s/3s,并具有较好的重复性和稳定性。分析认为GO/ZnO膜层中ZnO纳米颗粒对GO层起到了支撑作用,且分层膜中ZnO颗粒尺寸相较单一ZnO小,使得GO/ZnO分层薄膜的比表面积增大,从而提供了更多的吸附位点,提高了湿度传感器的湿敏特性。另外还初步探索了SGO/ZnO分层薄膜的湿敏特性,发现SGO/ZnO传感器相较GO/ZnO响应值明显增大,湿滞减小,初步认为SGO相较GO提供了更多的水分子吸附位点。
蒙成[10]（2012）在《微量质量传感器的研究 ——QCM湿度传感器的研究》文中研究说明微量质量传感器是利用压电晶体的压电效应制成的一类新型的质量-频率传感器，具有结构简单、灵敏度高、可靠性好、体积小、响应快、成本低、易于集成等优点。目前，微量质量传感器主要有石英晶体微天平（Quartz Crystal Microbalance，QCM）、声表面波（SurfaceAcoustic Wave，SAW）和压电微悬臂梁（Piezoelectric Cantilever Sensor）三种类型。首先，本文从理论上，对这三种类型质量传感器在气相、液相环境中的工作原理分别进行了分析、比较，对QCM传感器在气相工作环境下振荡电路的频带扩展问题着重进行了研究、探讨，对AT切石英晶体的各特性参数（介电常数、弹性常数和压电常数）进行了分析、计算。其次，本文在实验上，结合理论研究的结果和LiCl传统湿度传感器的已有成果，对设计的LiCl-QCM湿度传感器进行了实施和实验研究。实验结果表明，该款湿度传感器继承了LiCl与QCM的双重优点，突破了传统LiCl湿度传感器量程窄这一难题，具有灵敏度高、响应快、成本低、湿滞小、量程宽、互换性好、线性度佳等诸多优点。此外，为了提升LiCl湿度传感器的抗污染能力，改善无机盐吸湿易潮解这一弊端，本论文在LiCl-QCM湿度传感器的设计基础上，对高分子湿敏材料的感湿特性进行进一步探索，以寻求更为理想的湿敏材料，制造出性能更为优越的湿度传感器。本论文从QCM湿度传感系统的搭建、材料选取、湿度传感器的制备到数据的最终提取分析，实验结果与理论预测相一致，实现了预期的设计目标。
二、光硬化树脂电解质湿度传感器（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、光硬化树脂电解质湿度传感器（论文提纲范文）
（4）电容式微湿度传感器敏感结构研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 传感器概述 |
| 1.2 湿度传感器的研究背景及现状 |
| 1.2.1 湿度传感器的研究背景 |
| 1.2.2 湿度传感器的研究现状 |
| 1.3 本论文主要内容 |
| 第二章 湿度传感器的概述 |
| 2.1 湿度传感器简介 |
| 2.1.1 湿度的表示方法 |
| 2.1.2 湿度的测量方法 |
| 2.2 湿度传感器的静态特性指标 |
| 2.2.1 量程和量程宽度 |
| 2.2.2 线性度 |
| 2.2.3 感湿灵敏度 |
| 2.2.4 温度系数 |
| 2.2.5 反应时间 |
| 2.2.6 湿滞效应 |
| 2.3 湿敏材料与湿度传感器研究 |
| 2.3.1 电解质湿度传感器 |
| 2.3.2 陶瓷湿度传感器 |
| 2.3.3 高分子湿度传感器 |
| 2.4 基于 MEMS 技术的微湿度传感器 |
| 2.5 本章小结 |
| 第三章 电容式微湿度传感器的设计 |
| 3.1 电容式微湿度传感器简介 |
| 3.2 感湿介质的选择 |
| 3.2.1 空气作为感湿介质 |
| 3.2.2 多孔氧化物作为感湿介质 |
| 3.2.3 高分子材料作为感湿介质 |
| 3.2.4 纳米材料作为感湿介质 |
| 3.3 聚酰亚胺的性能、制备和感湿机理 |
| 3.3.1 聚酰亚胺简介 |
| 3.3.2 聚酰亚胺制备 |
| 3.3.3 聚酰亚胺物理感湿模型 |
| 3.4 感湿材料表面吸附问题 |
| 3.5 本章小结 |
| 第四章 电容式微湿度传感器的仿真 |
| 4.1 仿真理论与软件介绍 |
| 4.2 平行板结构模型 |
| 4.2.1 平行板结构模型简介 |
| 4.2.2 平行板结构模型仿真 |
| 4.3 叉指式结构模型 |
| 4.3.1 叉指式结构简介 |
| 4.3.2 叉指式结构设计 |
| 4.3.3 叉指式结构仿真 |
| 4.4 本章小结 |
| 第五章 电容式微湿度传感器工艺与性能测试 |
| 5.1 叉指电容工艺流程 |
| 5.2 微湿度传感器性能测试 |
| 5.2.1 灵敏度测试 |
| 5.2.2 湿滞测试 |
| 5.3 本章小结 |
| 第六章 总结与展望 |
| 6.1 总结 |
| 6.2 展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 攻硕期间取得的成果 |
（6）电阻式纳米氧化物湿敏元件的特性研究（论文提纲范文）
| 提要 |
| 第一章 前言 |
| 1.1 湿度和湿度的表示方法 |
| 1.2 测量、控制湿度的重要性 |
| 1.3 湿度传感器的性能参数 |
| 1.4 湿度传感器的分类 |
| 1.5 湿度传感器的应用和发展 |
| 1.6 纳米材料在湿度传感器的应用 |
| 1.7 湿度发生装置 |
| 1.8 感湿机理的一般理论、研究意义及研究方法 |
| 1.8.1 不同湿敏材料的感湿机理 |
| 1.8.2 湿敏元件感湿机理分析的一般方法 |
| 1.9 本论文研究目的及意义 |
| 参考文献 |
| 第二章 钙钛矿复合氧化物LaCo_(1-x)Fe_xO_3的合成及湿敏性能初探 |
| 2.1 材料制备 |
| 2.2 材料表征 |
| 2.2.1 差热-热重分析（DTA-TGA） |
| 2.2.2 X光衍射分析（XRD） |
| 2.2.3 扫描电镜分析（SEM） |
| 2.2.4 比表面分析（BET） |
| 2.3 材料的湿敏性能测试 |
| 2.3.1 湿敏元件的制作 |
| 2.3.2 湿度发生装置 |
| 2.3.3 湿敏元件的测试仪 |
| 2.3.4 湿敏元件的感湿特性 |
| 2.4 小结 |
| 参考文献 |
| 第三章 碱金属物理掺杂对LaCo_(0.3)Fe_(0.7)O_3湿敏性能的改善 |
| 3.1 掺杂不同碱金属离子的LaCo_(0.3)Fe_(0.7)O_3纳米晶湿敏元件的制备及性能 |
| 3.1.1 掺杂不同碱金属离子的LaCo_(0.3)Fe_(0.7)O_3纳米晶的制备 |
| 3.1.2 掺杂不同碱金属离子的LaCo_(0.3)Fe_(0.7)O_3纳米晶的感湿特性 |
| 3.2 材料的表征测试分析 |
| 3.2.1 X射线衍射分析（XRD） |
| 3.2.2 扫描电镜分析（SEM） |
| 3.2.3 比表面分析（BET） |
| 3.2.4 X射线光电子能谱（XPS） |
| 3.3 掺杂2wt.%K_2CO_3的LaCo_(0.3)Fe_(0.7)O_3纳米晶湿敏元件的其它电特性 |
| 3.3.1 频率特性 |
| 3.3.2 湿滞特性 |
| 3.3.3 电压特性 |
| 3.3.4 容抗特性 |
| 3.3.5 响应恢复特性 |
| 3.3.6 介电损耗的频率特性 |
| 3.4 湿敏元件的感湿机理 |
| 3.4.1 瞬时直流极性反转实验方法与结果 |
| 3.4.2 交流复阻抗谱图及分析 |
| 3.5 小结 |
| 参考文献 |
| 第四章 K~+化学掺杂的LaCo_(0.3)Fe_(0.7)O_3湿敏特性研究 |
| 4.1 材料制备 |
| 4.2 材料表征 |
| 4.2.1 X射线衍射分析（XRD） |
| 4.2.2 扫描电镜分析（SEM） |
| 4.2.3 比表面分析（BET） |
| 4.2.4 X射线光电子能谱（XPS） |
| 4.3 材料的湿敏性能测试 |
| 4.3.1 感湿特性 |
| 4.3.2 频率特性 |
| 4.3.3 湿滞特性 |
| 4.3.4 电压特性 |
| 4.3.5 容抗特性 |
| 4.3.6 响应恢复特性 |
| 4.4 湿敏元件的感湿机理 |
| 4.5 小结 |
| 参考文献 |
| 第五章 溶胶-凝胶法合成TiO_2湿敏性能改性 |
| 5.1 材料制备 |
| 5.2 材料表征 |
| 5.2.1 X射线衍射分析（XRD） |
| 5.2.2 扫描电镜分析（SEM） |
| 5.2.3 比表面分析（BET） |
| 5.3 材料的湿敏性能测试 |
| 5.3.1 感湿特性 |
| 5.3.2 频率特性 |
| 5.3.3 湿滞特性 |
| 5.3.4 电压特性 |
| 5.3.5 容抗特性 |
| 5.3.6 响应恢复特性 |
| 5.4 湿敏元件的感湿机理 |
| 5.5 小结 |
| 参考文献 |
| 发表论文 |
| 致谢 |
| 摘要 |
| Abstract |
（7）基于湿敏材料的光干涉型光纤湿度仪的研究（论文提纲范文）
| 致谢 |
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 湿度传感器研究背景 |
| 1.1.1 传统湿度传感器原理及应用 |
| 1.1.2 光纤湿度传感器原理及应用 |
| 1.2 光干涉型光纤传感器 |
| 1.2.1 马赫-曾德干涉仪 |
| 1.2.2 迈克尔逊干涉仪 |
| 1.2.3 法布里-珀罗干涉仪 |
| 1.2.4 萨格纳克干涉仪 |
| 1.3 湿度传感器湿敏材料 |
| 1.4 本论文的主要研究内容及研究意义 |
| 1.4.1 本论文的研究意义 |
| 1.4.2 本论文的主要研究内容 |
| 2 湿敏材料基本性质研究 |
| 2.1 几种湿敏材料简介 |
| 2.1.1 聚乙烯醇 |
| 2.1.2 明胶 |
| 2.1.3 阿拉伯胶 |
| 2.1.4 壳聚糖 |
| 2.1.5 甲基纤维素 |
| 2.1.6 羧甲基纤维素钠 |
| 2.1.7 琼脂糖 |
| 2.2 湿敏材料的制备 |
| 2.3 湿度平台搭建 |
| 2.4 湿敏材料性质研究 |
| 2.4.1 长周期光纤光栅介绍 |
| 2.4.2 长周期镀明胶湿敏膜结果响应 |
| 2.4.3 长周期镀阿拉伯胶湿敏膜结果响应 |
| 2.4.4 长周期镀甲基纤维素湿敏膜结果响应 |
| 2.5 本章小结 |
| 3 基于椎腰放大结构的马赫-曾德干涉仪的光纤湿度传感器 |
| 3.1 椎腰放大结构简介 |
| 3.2 基于聚乙烯醇镀膜的椎腰放大结构光纤湿度传感器 |
| 3.3 基于羧甲基纤维素钠镀膜的椎腰放大结构光纤湿度传感器 |
| 3.4 本章小结 |
| 4 基于花生型结构的马赫-曾德干涉仪的光纤湿度传感器 |
| 4.1 花生型结构简介 |
| 4.2 基于花生型结构光纤折射率传感器 |
| 4.3 基于聚乙烯醇镀膜的双花生型结构光纤湿度传感器 |
| 4.4 本章小结 |
| 5 总结和展望 |
| 5.1 总结 |
| 5.2 改进与展望 |
| 参考文献 |
| 作者简历 |
（9）基于石墨烯的QCM湿度传感器的制备与特性研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 引言 |
| 1.2 研究背景及意义 |
| 1.2.1 湿度及其表示 |
| 1.2.2 湿度传感器概述 |
| 1.2.3 湿度传感器的主要特性参数 |
| 1.3 湿度传感器国内外研究状况 |
| 1.4 本论文主要研究内容 |
| 第二章 基本原理与实验方法 |
| 2.1 敏感材料 |
| 2.1.1 石墨烯的结构及特性 |
| 2.1.2 石墨烯的制备方法 |
| 2.1.3 氧化石墨烯（GO） |
| 2.2 石英晶体微天平（QCM）基本原理与传感理论 |
| 2.2.1 石英晶体的压电效应 |
| 2.2.2 石英晶体微天平的传感原理 |
| 2.3 薄膜主要表征方法 |
| 2.3.1 紫外-可见分光光度法(UV-Vis) |
| 2.3.2 傅里叶变换红外线光谱分析法(FT-IR) |
| 2.3.3 扫描电子显微镜(SEM) |
| 2.4 QCM湿度传感器测试及特性参数 |
| 2.4.1 QCM湿度传感器湿敏测试系统 |
| 2.4.2 QCM湿度传感器主要特性参数的计算方法 |
| 2.5 本章小结 |
| 第三章 PEI/GO-QCM湿度传感器的湿敏特性研究 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 PEI/GO-QCM湿度传感器的制备 |
| 3.2.1 实验材料及仪器 |
| 3.2.2 敏感材料的配制 |
| 3.2.3 PEI/GO-QCM湿度传感器的制备 |
| 3.3 PEI/GO湿敏薄膜的表征与分析 |
| 3.3.1 紫外（UV-Vis）分析 |
| 3.3.2 傅里叶变换红外光谱（FT-IR）分析 |
| 3.3.3 扫描电镜SEM分析 |
| 3.4 PEI/GO-QCM湿度传感器的湿敏特性研究 |
| 3.4.1 PEI在最上层与GO在最上层对湿度响应特性对比 |
| 3.4.2 静电层层自组装成膜层数对传感器响应特性的影响 |
| 3.4.3 PEI/SGO-QCM湿度传感器的湿敏特性的初步研究 |
| 3.5 PEI/GO-QCM湿度传感器的湿敏机理 |
| 3.6 本章小结 |
| 第四章 GO/ZnO-QCM湿度传感器的湿敏特性研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 GO/ZnO-QCM湿度传感器的制备 |
| 4.2.1 实验材料及仪器 |
| 4.2.2 敏感材料的配制 |
| 4.2.3 GO/ZnO-QCM湿度传感器的制备 |
| 4.3 GO/ZnO湿敏薄膜的表征与分析 |
| 4.3.1 扫描电镜SEM分析 |
| 4.3.2 傅里叶变换红外光谱（FT-IR）分析 |
| 4.3.3 紫外（UV-Vis）分析 |
| 4.4 GO/ZnO-QCM湿度传感器的湿敏特性研究 |
| 4.4.1 GO/ZnO分层薄膜的湿敏特性分析 |
| 4.4.2 分层薄膜结构对传感器性能的影响 |
| 4.4.3 SGO/ZnO-QCM湿度传感器的湿敏特性的初步研究 |
| 4.5 GO/ZnO-QCM湿度传感器的湿敏机理 |
| 4.6 本章小结 |
| 第五章 结论与展望 |
| 5.1 结论 |
| 5.2 展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 |
（10）微量质量传感器的研究 ——QCM湿度传感器的研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 课题背景和意义 |
| 1.2 微量质量传感器的概述 |
| 1.3 湿度传感器的概述及发展趋势 |
| 1.4 论文的主要研究内容和结构 |
| 第二章 压电晶体理论分析 |
| 2.1 石英晶体及其切型符号表示法 |
| 2.2 石英晶体的压电效应 |
| 2.2.1 晶体的极化性质 |
| 2.2.2 晶体的弹性性质 |
| 2.2.3 晶体的压电性质 |
| 2.2.4 AT 切石英晶体的介电常数、弹性常数和压电常数矩阵 |
| 2.3 本章小结 |
| 第三章 微量质量传感器的理论基础 |
| 3.1 SAW 传感器的工作原理 |
| 3.1.1 SAW 传感器气相工作原理 |
| 3.1.2 SAW 传感器液相工作原理 |
| 3.2 微悬臂梁传感器的工作原理 |
| 3.2.1 微悬臂梁传感气相工作原理 |
| 3.2.2 微悬臂梁传感器液相工作原理 |
| 3.3 QCM 传感器的工作原理 |
| 3.3.1 QCM 传感器气相传感器工作原理 |
| 3.3.2 QCM 传感器液相传感器工作原理 |
| 3.4 QCM 气相振荡电路的频带扩展与分析 |
| 3.4.1 石英晶体谐振器的电抗频率特性分析 |
| 3.4.2 与电容并联的石英晶体谐振器的电抗频率特性分析 |
| 3.4.3 与电容串联的石英晶体谐振器的电抗频率特性分析 |
| 3.4.4 与电感串联的石英晶体谐振器的电抗频率特性分析 |
| 3.4.5 与电感并联的石英晶体谐振器的电抗频率特性分析 |
| 3.4.6 与电容－电感并联的石英晶体谐振器的电抗频率特性分析 |
| 3.5 石英晶体振荡器的基本电路 |
| 3.6 本章小结 |
| 第四章 QCM 湿度传感器的制备与研究 |
| 4.1 湿度传感器的研究 |
| 4.1.1 湿度传感器的分类 |
| 4.1.2 湿度传感器的发展历程 |
| 4.1.3 表征湿度传感器性能的主要指标 |
| 4.2 QCM 湿度传感器的测试平台 |
| 4.2.1 QCM 湿度传感系统的振荡电路 |
| 4.2.2 湿度测量方法 |
| 4.2.3 QCM 晶体谐振器 |
| 4.2.4 基片的清洗 |
| 4.3 LiCl-QCM 湿度传感器的制备 |
| 4.3.1 敏感膜的选择与制备 |
| 4.3.2 QCM 型结构感湿有效性判定 |
| 4.3.3 LiCl-QCM 湿度传感器的制备流程 |
| 4.4 LiCl-QCM 湿度传感器感湿特性分析 |
| 4.4.1 线性度与灵敏度 |
| 4.4.2 有效感湿范围 |
| 4.4.3 实时性、高效性 |
| 4.4.4 重复性 |
| 4.4.5 可逆性 |
| 4.5 LiCl-PVA-QCM 湿度传感器感的研究 |
| 4.5.1 掺 LiCl 的 PVA-QCM 湿度传感器的制备 |
| 4.5.2 掺 LiCl 的 PVA-QCM 湿度传感器的感湿性 |
| 4.6 本章小结 |
| 第五章 总结与展望 |
| 5.1 总结 |
| 5.2 展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 附录 1：作者在攻读硕士学位期间发表的论文 |
| 附录 A：一些常见压材料的性能 |
| 附录 B：饱和盐湿度环境 |
四、光硬化树脂电解质湿度传感器（论文参考文献）
- [1]光硬化树脂电解质湿度传感器[J]. 董惠泉,杨琦华. 传感器技术, 1984(S1)
- [2]电子式湿度传感器(一)[J]. 李树山. 仪表技术与传感器, 1988(02)
- [3]我国电子式湿度传感器的发展现状和问题[J]. 梁锡沛. 建筑科学, 1987(02)
- [4]电容式微湿度传感器敏感结构研究[D]. 凌娇. 电子科技大学, 2013(01)
- [5]化学量传感器[J]. 黄鸿斌,黄鸿雁. 传感器技术, 1988(06)
- [6]电阻式纳米氧化物湿敏元件的特性研究[D]. 王竹仪. 吉林大学, 2009(08)
- [7]基于湿敏材料的光干涉型光纤湿度仪的研究[D]. 黄然. 中国计量学院, 2016(04)
- [8]湿度和湿度传感器[J]. 骆如枋. 化学传感器, 1985(04)
- [9]基于石墨烯的QCM湿度传感器的制备与特性研究[D]. 包小华. 电子科技大学, 2016(02)
- [10]微量质量传感器的研究 ——QCM湿度传感器的研究[D]. 蒙成. 江南大学, 2012(04)