一、日本真空技术公司氧化铬透明掩模资料（论文文献综述）
徐择典[1]（1975）在《日本真空技术公司氧化铬透明掩模资料》文中研究表明本资料为出国参观考察团从日本带回日本真空技术公司的资料,内容专门介绍了氧化铬透明掩模的各种技术性能、指标及掩模制造工艺,包括了人员、设备和厂房配置及产量,产品检查等。叙述比较详细。对我们开展这方面工作有一定的参考价值。我们本着“洋为中用”的原则全文译出,仅供参考。但文中缺少关于氧化铬的具体成膜工艺。因此我们在译文后面附录了关于氧化铬掩模的成膜工艺部分,这部分是考察团在日本参观时看到的该公司实际生产情况,因此摘录在此,补充译文的不足。
春雷[2]（1972）在《国外彩色掩模研究概况》文中研究表明 随着半导体器件向高频、大功率、低噪声方面迅速发展,集成电路向高集成度、高可靠性和高速、低功耗方面发展,这对制版的要求就越来越高了,为此不仅要求有分辨率高的镜头,还要求有分辨率较高、耐磨的掩模。目前在制造集成电路的光刻工艺中,要用一套掩模来确定光致抗蚀剂材料上的图象,以便来形成电路图形。当前一般使用的
照相制版组[3]（1975）在《氧化铬半透明掩模版的制备》文中研究说明本文简述氧化铬半透明掩模的制备。利用高真空镀膜机,采用钼舟加热器以三氧化二铬为镀膜源。只要镀膜条件控制得当,就能够制备出符合光掩模版所要求的半透明氧化铬版。
陈绍华[4]（2002）在《锆膜表面改性及其渗氢行为研究》文中研究说明膜分离技术广泛应用于水处理、气体分离、生物医学、化工生产及实验研究等行业中。在涉及高温、高压环境下的气体分离中，主要使用的是无机膜分离技术。针对特殊行业对氢同位素气体处理量及超高纯度的需求和现有膜分离技术存在的问题和不足，创新性地提出了利用耐熔金属锆等对氢的高渗透性，制备高选择渗氢膜的分离技术。由于金属锆表面极易自钝化与氧形成一层致密的氧化锆薄膜，这层0． 1～几个纳米厚的氧化锆膜掩盖了其本体的渗氢性能，使其在作为高选择渗氢膜的应用上受到限制。本文针对这种情况，首次进行了以下几方面的研究：首次采用电化学法研究了锆膜基材表面氧化层的去除技术，制得去除了表面氧化膜的锆基材膜，获得了锆膜基材表面氧化层的去除工艺。首次采用真空高温除氧加氢法研究了锆膜基材表面氧化层的去除技术，制得去除了锆表面氧化膜的锆基材膜，获得了锆膜基材表面氧化层的去除工艺。在利用电化学法和真空高温除氧加氢法去除了锆表面氧化膜的基础上，分别采用化学法、磁控溅射法两种镀膜技术在其表面上镀上了一层对氢具有自催化分解、唯一选择渗透性的金属钯膜，首次获得了锆基材膜表面上镀钯的制备工艺，成功制备了锆表面改性选择渗氢膜。在更宽的温度范围、压差范围内，在不同原料气组成（即不同的氢气分压）条件下，对所制备的锆表面改性膜进行了渗氢性能实验，考核了膜对氢的唯一选择渗透性，结果表明：在四极质谱的检测下限内，只有氢气存在，而无杂质气体通过；在593K～773K温度范围内，锆表面改性选择渗氢膜具有高于钯膜数十倍至十几倍的渗氢流量和渗氢系数；其渗氢流量随着膜两侧氢分压平方根 摘 要差的增大而增大，并且呈线性关系；压力对膜的渗氢系数几乎无影响；膜的渗氢系数随着温度的升高而下降，井巨呈指数关系：根据对实验数据所作渗氢系数与温度关系曲线的拟合，在温度593K～773K范围内，压差P、－0二～0．3MPa，Pdn ＝4 X10“中：～0．IMP范围内，铝表面改性选择渗氢膜的数学表达式为： （1320＼ i＝155 x 10”exd ＝＝l “＼T）在这个温度和压差范围内，渗氢系数的实验数据计算值与数学公式计算值的误差在3％以内；铬表面改性选择渗氢膜的寿命考核实验表明，经过连续30大的循环温度、压力实验，膜的质量、性能无变化；并讨论了膜的渗氢理论。 发现并指出采用真空离子研磨法，并不能象国外有关资料所说那样能去除辖表面氧化膜。即使在真空高达10“Pa下，也只能获得单质销含量约占引％的钻膜表面。 研究表明，所制备的错表面改性选择渗氢膜能够满足纯化氢同位素气体的纯度与渗透通量的要求。所研究发展的钻表面改性膜制备技术具有一定的理论价值和广阔的应用前景及市场前景。
张段芹[5]（2009）在《微构件拉伸测试技术及其力学性能研究》文中研究表明微机械电子系统（Microelectromechanical Sysetms,MEMS）具有很好的发展前景,而且应用范围特别广泛,如汽车用的微加速度器,办公用的喷墨打印机头、数字微镜阵列,通讯用的光开关,以及医疗用的微流控芯片等等。这些MEMS器件与IC芯片的主要不同之处是MEMS器件中包含有运动、接触、摩擦等微构件,使得微尺度下的力学性能研究成为MEMS的一个重要基础研究内容。然而,微尺度下的力学性能受尺度效应和微加工工艺等因素的影响,已不能用宏观下的理论来解释,需要重新对微尺度下构件的力学性能进行表征。微拉伸测试方法具有能够得到均匀的应力应变场,数据容易解释,通用性强等显著优点,是最常用的测试方法之一。本文研制了一种片外驱动微拉伸测试装置,目的是测量MEMS中常用薄膜材料的力学性能。此微拉伸测试装置采用压电陶瓷驱动,电感式测微仪（精度0.1μm）测量其驱动位移,微力传感器（分辨率0.25 mN）直接测量被测试样的拉力载荷,五维微动台用于调整动、静载物台使其轴向对准。主要解决两个技术难题:1)试样的轴向变形位移的检测。位移传感器测量的是总的驱动位移,它除了包含试样的轴向变形位移外,还包含微力传感器的输出变形和粘结胶的剪切变形,本文是通过在线测量测试装置的轴向刚度,从总的驱动位移中减去测试装置的轴向变形而获得拉伸试样的轴向变形。2)拉伸试样的轴向对准与夹持。由于被测试样的特征尺寸在微米量级,而测试装置的特征尺寸在毫米量级,试样的轴向对准问题是非常难解决的。本文提出了一种游标-凹槽载物片式对准机构,它由体硅微加工工艺制作。梳齿式游标用于检测非轴向对准时的角偏差,而凹槽和凹槽中的定位台用于实现试样的快速安装和定位。这种方法很大程度上提高了拉伸试样的轴向对准精度和重复对准精度。利用此微拉伸测试装置,测量了热氧化硅薄膜的力学性能。设计并制作了两种微拉伸试样:常规微拉伸试样和附加弹性梁的微拉伸试样。其中,后一种试样中的弹性梁可以有效减小因非轴向对准而引入的扭弯变形,保证微拉伸梁的单轴向拉伸。这两种试样采用相同的微加工工艺在同一硅片上制作,其关键步骤是双掩膜两次感应耦合等离子体（ICP）刻蚀形成阶梯状窗口结构,并最终在硅衬底表面形成释放了的热氧化硅薄膜梁。通过微拉伸测试,得到热氧化硅薄膜的弹性模量和断裂强度分别为65 GPa和350-489MPa。由于过大的残余压应力,氧化硅薄膜梁发生了过屈曲,通过对氧化硅薄膜梁的几个应力状态进行分析,提出了一种基于微拉伸屈曲梁法的测量残余应力的理论模型,氧化硅薄膜的初始残余压应力为354 MPa。另外,对电铸镍薄膜梁进行了微拉伸测试。电铸镍拉伸试样采用准LIGA技术制作,氨基磺酸镍为电铸液。测量结果表明:高电流密度下制备出的微结构致密度较差,具有较高的气孔率,并且杨氏模量与气孔率的关系遵循指数经验公式,其测量值与计算值比较吻合。在本文工艺条件下,当电流密度为20 mA/cm2时,镍薄膜的杨氏模量为83±6GPa;当电流密度减小到10 mA/cm2时,镍薄膜的杨氏模量为124±5 GPa。最后,探索了片内集成力敏单元的微拉伸测试。设计并制作了集成扩散硅压阻式力敏单元的微拉伸试样结构,使其能够进行片内拉力检测。利用片外驱动微拉伸测试装置进行压阻力敏单元的输出信号-输入拉力之间的关系曲线标定,测量得到力敏单元的灵敏度为0.017mV/mN。
崔巍巍[6]（2005）在《溶胶凝胶法制备均匀无裂纹的氧化锆薄膜》文中认为本论文采用溶胶—凝胶（Sol-Gel）工艺,以氧氯化锆为原料,在不锈钢基底上成功制备出均匀无裂纹的氧化锆薄膜。用旋转涂膜法进行涂膜试验,经过涂膜、干燥、烧结等步骤最终制得陶瓷薄膜。以溶胶-凝胶法为基础,从溶胶成分,涂膜次数,不同量的分散剂,干燥工艺,烧结工艺和激光作用等过程的工艺参数中找到最佳组合,以期得到最佳薄膜。 用扫描电镜（SEM）对薄膜进行了表面形貌分析;X射线衍射仪进行了结构分析;差热分析仪（DTA）进行了热量分析等。通过实验观察,普通的人工抛光手段仍有大量的微观划痕,致使薄膜不均匀,本试验采用电化学抛光,薄膜均匀;采用室温干燥和高温干燥得到的薄膜都有大量裂纹,本试验采用的分级干燥法（80℃—50℃—30℃）使大量溶剂在干燥早期充分排出,后期低温缓慢干燥薄膜应力减小,不产生裂纹;为了得到致密的薄膜,采用多次涂敷的办法填充上一次溶胶凝胶转化产生的微孔和微裂纹,同时为了防止后涂膜时的溶胶溶解上一次的薄膜,要对薄膜进行预烧结,根据溶剂和有机物的排出温度选择300℃为预烧结温度,经过预烧结的薄膜才进入下一次的涂膜。对薄膜进行烧结处理发现:薄膜在400℃—600℃烧结时始终保持均一无裂纹,700℃烧结时会有显微裂纹出现。采用激光作用薄膜时能量过高会导致基体熔化,能量低时形成非晶膜,适中的能量形成晶态薄膜。激光作用粉体与溶胶的复合膜,引起溶胶结晶并与粉体结合形成陶瓷膜。
常萌[7]（2013）在《2,5-呋喃二甲酸及其聚酯的制备》文中研究说明本文首先以生物基的5-羟甲基糠醛（HMF）为原料，在碱性条件下用高锰酸钾氧化法合成2,5-呋喃二甲酸（FDCA）单体；然后以钛酸四丁酯为催化剂，以FDCA和对苯二甲酸（PTA）为原料，按照不同的比例分别与乙二醇（EG）和1,4-丁二醇（BDO）反应，通过直接酯化和熔融缩聚制备一系列的聚酯和共聚酯——聚2,5-呋喃二甲酸-对苯二甲酸乙二醇酯（PEFT）和聚2,5-呋喃二甲酸-对苯二甲酸丁二醇酯（PBFT）。对合成的FDCA单体进行了结构和纯度的测试，对制备的一系列共聚酯PEFT、PBFT进行了结构、热性能、特性粘度的测试。通过用红外光谱、1H NMR、HPLC对合成的FDCA单体进行表征，并对影响制备FDCA的因素，如反应时间、NaOH浓度、反应物配比等进行了较系统的条件实验，得出了较优的反应条件：NaOH溶液浓度为1.7mol/L，n（高锰酸钾）：n （5-羟甲基糠醛）=2.4：1，反应时间40min，反应温度25℃，2,5-呋喃二甲酸的产率达到54.65%，纯度为99.5%。通过对各组分PEFT共聚酯的红外谱图进行结构分析，可以清晰地分辨出各个官能团（呋喃环和苯环上的碳碳双键、酯基、呋喃环）的标志峰。再对各组分PEFT共聚酯的特性粘度、DSC、TG等性能进行分析发现：随着FDCA含量的增加，PEFT共聚酯的特性粘度逐渐下降；玻璃化转变温度Tg增加，但是结晶温度、熔点不易分辨出；热分解温度呈下降趋势。通过对各组分PBFT共聚酯的红外谱图进行结构分析，可以清晰地分辨出各个官能团（呋喃环和苯环上的碳碳双键、酯基、呋喃环）的标志峰。再对各组分PBFT共聚酯的特性粘度、DSC、TG等性能进行分析发现：随着FDCA含量的增加，PBFT共聚酯的特性粘度逐渐下降；冷结晶温度Tcc增加，热结晶温度Tmc和熔点Tm下降，且变化明显；热分解温度呈下降趋势。最后，将相同FDCA/PTA摩尔比的PEFT、PBFT共聚酯的酯化温度、酯化时间、缩聚温度、缩聚时间、产品外观、特性粘度、热力学温度（玻璃化转变温度Tg、冷结晶温度Tcc、热结晶温度Tmc、熔点Tm）、热分解温度等进行比较，并总结出相应的规律。
刘峰[8]（2013）在《超高真空器件精密清洗处理和放气分析研究》文中研究说明微光像增强器具有高性能、高精度、高可靠性、高集成度和微型化的特点,因此对器件上残留的微量污染物等非常敏感,所以精密清洗处理和检测是一个重要环节,从最初的原材料和零备件加工制造,产品各部件装配组合以及成品封装前,都需要精密清洗等特殊的方法。精密清洗处理得出的方法比传统工业清洗有更强的洗净手段和洗净能力,有更高的洗净效率,采用更先进的洗净工艺、洗净技术装备和检测手段,拥有洁净处理环境,确保了更高的研制条件。文章针对组成微光像增强器的材料和器件从两方面考虑：一、从可伐合金,陶瓷,焊料,不锈钢,微通道板（MCP）的清洗工艺进行实验研究,对实验结果进行比较,得出清洗工艺对材料表面污染物去除的效果,考虑清洗流程的节能和环保问题,清洗后材料表面洁净度分析等。二、针对伐合金、陶瓷,从材料表面和内部放气机理进行研究,建立相关模型,结合放气理论和扩散理论进行数据计算分析。进行表面残留物成份及吸附污染物的机理研究,表面残留粒子污染检测方法的探索研究,结果处理后材料表面洁净度显著提高,满足电真空器件对洁净度的高标准要求。分析找出减小污染和减少残留物的方法,进而减小管体内金属件的放气量。针对合金、不锈钢等材料,采用化学方法和物理方法对其表面进行修饰和保护,用高精度光学显微镜,表面轮廓测量,对不同材料表面进行测试比较,从光洁度和致密性以及材料表面膜层,钝化层吸附、放气理论进行分析评价。对材料表面和内部放气机理进行研究,结合模型的建立,放气理论、扩散理论数据计算分析,探讨材料表面结构状态和光洁度对于减小放气量的影响因素。通过本文的研究,对于减小管内材料放气和提高像管性能指标提供帮助,并且适用于X光像管和紫外像管的研发生产。
靳贵平[9]（2004）在《紫外探测技术与双光谱图像检测系统的研究》文中研究说明紫外探测技术在军事和民用领域中发挥着越来越重要的作用。本文围绕紫外探测技术中的日盲紫外滤光技术、光谱转换技术、像增强技术以及基于此的双光谱图像检测系统展开研究，其目的在于通过对紫外探测的关键技术的研究，研制出新型的双光谱图像检测系统，以实现对电晕放电、森林火灾等的及时检测和定位。 文中首次利用日盲紫外滤光技术、光谱转换技术和微光像增强技术，设计和研制了日盲紫外像增强器。在此基础上，以日盲紫外像增强器为核心器件，研制了紫外图像观察仪。该仪器可实时地将微弱的紫外光图像转换并增强为可直接观察的可见光图像，从而解决了传统紫外照相盲拍的缺点，提高了现场取证的效率和质量。该仪器对指纹、掌印等痕迹的检测效果可与国外进口的同类产品相媲美。这说明我们研制的日盲紫外像增强器能有效地增强微弱紫外光图像，其成功研制为进一步的双光谱图像检测系统的设计和研制提供有力了的技术保障。 在双光谱图像检测系统研究方面，提出了系统工作于日盲紫外波段和可见光波段的双光谱工作范围，设计了双光路结构实现对目标的检测和定位，提出了实现高效紫外可见分光的方案，同时采用日盲紫外图像增强、光学图像耦合、CCD成像、图像的采集、处理、配准、融合等技术，设计和研制了双光谱图像检测系统，目前，利用该系统已能检测到放电的信号和背景。 此外，本文还采用蒙特卡洛方法研究了紫外光在转换屏中的传输过程，求出了不同转换屏厚度、不同掺杂浓度下的转换效率和传递函数，结果表明要同时获得高的转换效率和良好的图像传递特性，转换屏的厚度最好控制在200um左右。
陈为亮[10]（2000）在《真空精炼锂的研究与氧化锂真空碳热还原初探》文中研究说明本文介绍了金属锂及其化合物的性质、用途和消费情况，综述了金属锂和高纯锂的生产方法，对粗锂真空蒸馏精炼、碳酸锂真空加碳热分解、氧化锂真空碳热还原过程的热力学和动力学进行了计算与分析，对粗锂真空蒸馏精炼进行了试验研究，对氧化锂真空碳热还原提取金属锂进行了初步探索，提出了一个全新的提取锂的流程。 对粗锂真空蒸馏精炼的热力学和动力学进行了研究。计算了锂中各杂质的分离系数，作出了Li-K、Li-Na、Li-Mg、Li-Ca、Li-Al、Li-Si、Li-Fe、Li-Ni二元系在573～1273K的蒸馏温度下的气液相平衡成分图，直观地表示了粗锂中杂质的含量、蒸馏温度对蒸馏产品的影响。还计算了K、Na、Li、Mg、Ca、Al、Si、Fe、Ni在真空中的最大蒸发速率以及锂在不同蒸馏温度进行真空蒸馏时的临界压强和蒸发系数，分析了金属在真空中的蒸发过程，研究了蒸馏温度、压强、冷凝条件对蒸法过程的影响。 粗锂真空蒸馏精炼的热力学和动力学分析结果表明：根据分离系数的大小，粗锂中的杂质元素可分为三类：分离系数βi＞1的K和Na，分离系数βi＜1的Al、Fe、Ni、Si以及分离系数在1附近的Ca和Mg。用真空蒸馏的方法能够比较彻底地除去粗锂中的K、Na、Al、Si、Fe、Ni，而Ca和Mg的分离则较困难；为使粗锂中的杂质在真空蒸馏时与锂很好分离，应采用分步蒸馏的方法：即在较低温度下蒸馏低沸点杂质K和Na，第二步在较高温度下蒸馏锂，使高沸点杂质Al、Si、Fe、Ni残留下来。控制一定的蒸馏条件，可以使粗锂中的Ca和Mg得到比较彻底的分离。在锂的真空蒸馏过程中，由于存在临界压强，锂的蒸馏速度不能随系统压强的降低而无限增大，为保证蒸馏时锂有最大的蒸发速率，系统压强应稍低于临界压强。 以工业级粗锂为原料，研究了粗锂真空蒸馏精炼的工艺条件。考察了一段（低温）蒸馏温度、一段蒸馏时间、二段（高温）蒸馏温度、添加剂的种类和添加量五个因素对粗锂真空蒸馏精炼的影响，得到了粗锂真空蒸馏精炼的较优工艺条件：一段蒸馏温度为550℃、一段蒸馏时间为60min、二段蒸馏温度为700℃、B2O3的添加量为锂的2.0％（Wt.）。在此条件下，纯度为99.632％的粗锂通过真空蒸馏精炼，得到纯度＞99.9％的高纯锂。 在973～1053K的温度范围内，对金属锂真空蒸发的动力学进行了研究。得到了金属锂在不同蒸发温度下蒸发的最大蒸发速率ωmax和临界压强Pcrit，发现金属锂的蒸发系数α随蒸发温度的升高而下降，得出了临界压强和最大蒸发速率与蒸发温度之间的关系式： Pcrit=-4×10-4T2+0.9207T-512.2（Pa） ω=2×10-7T2+2×10-4T+0.026(g·cm-2·min-1) 通过对碳酸锂真空加碳热分解和氧化锂真空碳热还原的热力学和动力学分析可知：在有碳存在的情况下，碳酸锂在真空和高温的条件下更容易分解，分解温度比纯碳酸锂的低约150K，并且随真空度的提高分解温度降低；在 昆明理工大学博上学位论文 摘要IAbstract 真空中碳能够将氧化理还原为金属理，随真空度的提高还原反应更容易进 行。 以碳酸理为原料，对真空碳热还原法制取金属银进行了初步研究，在压 强不变的情况下，分别考察了温度和时间对碳酸银真空加碳热分解和氧化理 真空碳热还原反应的影响，对分解反应和还原反应的反应机理和动力学模型。 作了分析和讨论。在系统压强为－15Pa、分解温度为 923～＊73K的条件下， 得出了碳酸袒真空加碳热分解反应的分解串删)与分解时间雹的关系式： 923K：卜＝6．OXW炉一！．扣XI沪一十0．4317！ 9刀K：R＝＝2．0X10－’尸一6．60X10”’尸十1．244＊ 1023K：只。2．OXI炉P一】．01 IW十1．701！！ 1073K：R＝3．OX10“P一5石SX10Y＋3．9！52t 表明分解反应属缩核反应模型和分解反应受界面化学反应所控制的反应机 理，求出了分解反应在碳酸理沼点以下（923～973K）和沼点以上0～1073切 进行的表观活化能 E。分别为 172．13 kJ／Inol和 137．58kJ／mol。 在系统压强为20Pa、还原温度为1373K和1423K的条件下，分别得到 了氧化理真空碳热还原反应的还原率用州与还原时间在的关系式： ！373K：R。7xlw一！．66x 10－2t2 －I－l．3845t 1423K：R＝！X！W一二．75 X！0“Y十二．3439t 表明氧化锰的碳热还原反应受扩散动力学控制，反应的表观活化能为391．14 kjhalo通过试验，首次制得了纯度为54。34％的金属理。 迢过以上研究，得出了以觑埋为原料，迟过真空加碳热分解、真空碳 热还原、真空蒸瞩制取金属锰的原则工艺流程，该工艺对降低金瞩理的生产 成本和环境保护具有重要意义。
二、日本真空技术公司氧化铬透明掩模资料（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、日本真空技术公司氧化铬透明掩模资料（论文提纲范文）
（4）锆膜表面改性及其渗氢行为研究（论文提纲范文）
| 中文摘要 |
| 英文摘要 |
| 1. 绪论 |
| 1. 1 膜分离技术概况 |
| 1. 2 膜分离技术在气体纯化分离中的应用 |
| 1. 3 氢同位素气体的纯化 |
| 1. 3. 1 氢同位素气体的需求 |
| 1. 3. 2 氢同位素气体的纯化方法 |
| 1. 3. 3 钯膜扩散技术的研究进展 |
| 1. 3. 3. 1 钯膜扩散技术 |
| 1. 3. 3. 2 钯银合金膜技术 |
| 1. 3. 4 选择渗氢膜的发展方向 |
| 1. 3. 5 耐熔金属表面改性膜 |
| 1. 3. 6 耐熔金属表面改性膜存在的问题 |
| 1. 4 本课题的研究目标、技术路线和主要内容 |
| 1. 4. 1 研究目标 |
| 1. 4. 2 主要研究内容 |
| 1. 4. 3 技术路线 |
| 2. 薄膜扩散理论 |
| 2. 1 引言 |
| 2. 2 固态膜扩散原理 |
| 2. 3 固态膜表面吸附 |
| 2. 3. 1 物理吸附与化学吸附 |
| 2. 3. 2 金属表面的化学吸附 |
| 2. 4 固态膜中的扩散 |
| 2. 5 气体穿过固态膜的扩散速率 |
| 3. 锆膜基材表面氧化层的去除研究 |
| 3. 1 引言 |
| 3. 1. 1 锆的核性质 |
| 3. 1. 2 锆的物理、机械性能 |
| 3. 1. 3 锆的化学性能 |
| 3. 1. 3. 1 锆与氧的作用 |
| 3. 1. 3. 2 锆与氢的作用 |
| 3. 1. 4 锆的选择渗氢性能 |
| 3. 2 锆表面氧化膜的去除研究 |
| 3. 2. 1 锆表面氧化膜及其预处理 |
| 3. 2. 2 真空离子研磨法去锆表面氧化膜 |
| 3. 2. 3 电化学法去锆表面氧化膜 |
| 3. 2. 3. 1 阴极碱性清洗 |
| 3. 2. 3. 2 酸性浸蚀 |
| 3. 2. 3. 3 阴极活化氢化 |
| 3. 2. 4 真空高温加氢法去锆表面氧化膜 |
| 3. 2. 4. 1 真空高温加氢反应器 |
| 3. 2. 4. 2 真空高温加氢反应原料气的纯化 |
| 3. 2. 4. 3 真空高温加氢反应配气系统 |
| 3. 2. 4. 4 真空高温加氢反应实验 |
| 3. 2. 4. 4. 1 高纯气体实验 |
| 3. 2. 4. 4. 2 实验与改进 |
| 3. 2. 4. 4. 3 超高纯气体实验 |
| 3. 2. 4. 5 真空高温加氢反应中的压力变化 |
| 3. 3 小结 |
| 4 锆-钯复合膜的制备研究 |
| 4. 1 引言 |
| 4. 2 化学法镀钯膜研究 |
| 4. 2. 1 镀液组成 |
| 4. 2. 2 实验材料及溶液的配制 |
| 4. 2. 3 镀膜实验研究 |
| 4. 2. 4 镀膜结果 |
| 4. 2. 5 镀膜热处理 |
| 4. 3 磁控溅射法镀钯膜研究 |
| 4. 3. 1 镀膜条件 |
| 4. 3. 2 镀膜实验研究 |
| 4. 3. 2. 1 以真空离子研磨法得到的锆片为基片镀膜 |
| 4. 3. 2. 1. 1 镀膜条件 |
| 4. 3. 2. 1. 2 镀膜结果 |
| 4. 3. 2. 1. 3 镀膜热处理 |
| 4. 3. 2. 2 以真空高温加氢法得到的锆片为基片镀膜 |
| 4. 3. 2. 2. 1 镀膜条件 |
| 4. 3. 2. 2. 2 镀膜结果 |
| 4. 3. 2. 2. 3 镀膜热处理 |
| 4. 4 小结 |
| 5 锆-钯复合膜的渗氢行为研究 |
| 5. 1 引言 |
| 5. 2 渗氢实验 |
| 5. 2. 1 实验样品 |
| 5. 2. 2 渗氢池 |
| 5. 2. 3 渗氢实验装置 |
| 5. 2. 4 渗氢实验 |
| 5. 3 渗氢实验结果与讨论 |
| 5. 3. 1 离子轰击除氧镀膜片的渗氢实验 |
| 5. 3. 1. 1 渗氢实验结果 |
| 5. 3. 1. 2 渗氢实验结果讨论 |
| 5. 3. 2 真空高温除氧镀膜片的渗氢实验 |
| 5. 3. 2. 1 渗氢实验结果 |
| 5. 3. 2. 2 渗氢实验结果讨论 |
| 5. 3. 3 渗氢系数与温度的关系 |
| 5. 4 锆膜渗氢理论 |
| 5. 4. 1 引言 |
| 5. 4. 2 氢的渗透阻力 |
| 5. 4. 3 氢的渗透理论 |
| 5. 5 小结 |
| 6 结论 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 附录一：作者在攻读博士学位期间发表的论文 |
| 附录二：高温氢化反应压力、时间数据 |
| 附录三：离子轰击除氧镀钯膜锆片的渗氢实验数据 |
| 附录四：离子轰击除氧镀钯膜锆片的渗氢系数数据 |
| 附录五：真空高温除氧镀钯膜锆片的渗氢实验数据 |
| 附录六：真空高温除氧镀钯膜锆片的渗氢系数数据 |
| 附录七：符号说明 |
（5）微构件拉伸测试技术及其力学性能研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 微构件力学性能的测试方法与测试平台 |
| 1.1.1 纳米压痕法 |
| 1.1.2 微弯曲法 |
| 1.1.3 微拉伸法 |
| 1.1.4 片内集成测试法 |
| 1.2 相关主要技术 |
| 1.2.1 驱动方法 |
| 1.2.2 位移检测 |
| 1.2.3 力检测 |
| 1.2.4 试样夹持方法 |
| 1.3 现存微构件力学性能表征问题 |
| 1.4 本文研究内容 |
| 2 片外驱动微拉伸测试装置的研制 |
| 2.1 测试原理及装置构成 |
| 2.1.1 测试原理 |
| 2.1.2 微拉伸测试装置的构成 |
| 2.2 基于LabVIEW的数据与图像采集 |
| 2.2.1 数据采集 |
| 2.2.2 图像采集 |
| 2.2.3 PID位移控制 |
| 2.3 装置整体刚度的测量 |
| 2.3.1 微力传感器的刚度测量 |
| 2.3.2 装置的轴向刚度测量 |
| 2.4 本章小结 |
| 3 微拉伸试样的对准与夹持 |
| 3.1 游标-凹槽载物片式对准夹持方法 |
| 3.1.1 梳齿式游标检测偏转位移 |
| 3.1.2 凹槽载物片结构设计与制作工艺 |
| 3.1.3 试样轴向对准与夹持的实施 |
| 3.1.4 游标-凹槽载物片对准与夹持的优缺点 |
| 3.2 静电吸附式夹持方法 |
| 3.2.1 静电吸附夹具的结构 |
| 3.2.2 静电吸附力的理论计算 |
| 3.2.3 静电吸附夹具的设计与制作 |
| 3.2.4 水平夹持力的测量 |
| 3.3 附加弹性支承梁的微拉伸试样 |
| 3.3.1 几种弹性梁的刚度分析 |
| 3.3.2 结构设计与仿真 |
| 3.4 本章小结 |
| 4 氧化硅薄膜梁的力学性能研究 |
| 4.1 氧化硅薄膜梁的制作 |
| 4.1.1 微加工工艺介绍 |
| 4.1.2 氧化硅微拉伸试样的制作工艺 |
| 4.1.3 存在问题与解决方法 |
| 4.1.4 工艺总结 |
| 4.2 氧化硅薄膜梁的拉伸测试 |
| 4.2.1 氧化硅薄膜梁的微拉伸试验 |
| 4.2.2 氧化硅薄膜的杨氏模量与断裂强度 |
| 4.2.3 氧化硅薄膜的初始残余应力 |
| 4.2.4 氧化硅薄膜的力学性能比较 |
| 4.3 测量误差分析与不确定度评定 |
| 4.4 本章小结 |
| 5 电铸镍薄膜梁的力学性能研究 |
| 5.1 电铸Ni拉伸试样的制备 |
| 5.1.1 电铸Ni试样工艺流程 |
| 5.1.2 工艺中的关键问题 |
| 5.2 电铸镍的拉伸测试 |
| 5.2.1 镍薄膜的杨氏模量 |
| 5.2.2 杨氏模量与气孔率的关系 |
| 5.3 测量误差分析 |
| 5.4 本章小结 |
| 6 片内集成压阻式力敏单元的微拉伸测试 |
| 6.1 压阻式力敏单元的工作原理 |
| 6.1.1 压阻效应与压阻系数 |
| 6.1.2 压阻电桥的灵敏度 |
| 6.2 微拉伸试样的结构设计与制作 |
| 6.2.1 微拉伸试样的结构与仿真 |
| 6.2.2 力敏压阻条的设计 |
| 6.2.3 力检测单元灵敏度分析 |
| 6.2.4 微拉伸试样的制作 |
| 6.3 力敏单元的信号采集与标定 |
| 6.3.1 测量与信号调理电路 |
| 6.3.2 力敏单元信号标定 |
| 6.4 本章小结 |
| 7 结论与展望 |
| 7.1 全文结论 |
| 7.2 工作展望 |
| 参考文献 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 |
| 创新点摘要 |
| 致谢 |
| 作者简介 |
（6）溶胶凝胶法制备均匀无裂纹的氧化锆薄膜（论文提纲范文）
| 第一章 绪论 |
| 1.1 薄膜技术的发展及应用 |
| 1.1.1 薄膜技术的发展 |
| 1.1.2 薄膜的体系性能及应用 |
| 1.1.3 薄膜的制备方法 |
| 1.2 溶胶—凝胶法 |
| 1.2.1 溶胶—凝胶法基本原理 |
| 1.2.2 溶胶—凝胶法发展历史 |
| 1.2.3 溶胶—凝胶法工艺过程 |
| 1.2.3.1 溶胶的制备 |
| 1.2.3.2 溶胶的影响因素 |
| 1.2.3.3 溶胶-凝胶转化 |
| 1.3 氧化锆的性质及应用 |
| 1.3.1 氧化锆的性质 |
| 1.3.2 氧化锆的应用 |
| 1.4 聚乙烯醇(PVA)水溶性高分子 |
| 1.4.1 化学结构、醇解度、聚合度 |
| 1.4.2 水溶性 |
| 1.4.3 粘度 |
| 1.4.4 表面活性 |
| 1.4.5 聚乙烯醇水溶液的粘接力 |
| 1.4.6 隔气性 |
| 1.4.7 热稳定性 |
| 1.4.8 聚乙烯醇的改性 |
| 1.5 激光加工的应用 |
| 1.6 论文研究内容概述 |
| 第二章 试验材料及实验方法 |
| 2.1 试验依据 |
| 2.2 实验原料及使用仪器 |
| 2.2.1 实验原料 |
| 2.2.2 实验所用仪器 |
| 2.2.3 基板材料及处理方法 |
| 2.3 薄膜制备过程 |
| 2.3.1 PVA溶液的制备 |
| 2.3.2 氧化锆溶胶的制备 |
| 2.3.3 涂膜 |
| 2.3.4 干燥 |
| 2.3.5 烧结 |
| 2.3.6 激光加工 |
| 2.4 测试方法 |
| 2.4.1 扫描电镜分析无机膜的表面形貌 |
| 2.4.2 能谱仪进行成分分析 |
| 2.4.3 X射线衍射(XRD)试验测定物相结构 |
| 2.4.4 差热分析薄膜的热性能 |
| 2.4.5 数字显微硬度计 |
| 第三章 实验结果与讨论 |
| 3.1 引入Y_2O_3对ZrO_2陶瓷膜烧结行为的影响 |
| 3.2 基体预处理对薄膜形貌的影响 |
| 3.3 PVA含量对薄膜的影响 |
| 3.3.1 PVA的表面活性作用 |
| 3.3.2 PVA的其他作用 |
| 3.3.3 PVA对薄膜构成的影响 |
| 3.3.3.1 差热曲线 |
| 3.3.3.2 X射线衍射图谱 |
| 3.4 干燥制度的影响 |
| 3.4.1 水的分类 |
| 3.4.2 水分移动的机理 |
| 3.4.3 分级干燥法 |
| 3.5 不同烧结温度的影响 |
| 第四章 激光作用结果 |
| 4.1 激光辐照经过预烧结的薄膜 |
| 4.1.1 激光辐照结果 |
| 4.1.2 激光频率对薄膜形成的影响 |
| 4.1.3 激光脉宽对薄膜形成的影响 |
| 4.2 激光作用溶胶和粉复合涂层 |
| 第五章 结论 |
| 参考文献 |
| 中文详细摘要 |
| Abstract |
| 致谢 |
（7）2,5-呋喃二甲酸及其聚酯的制备（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 目录 |
| 前言 |
| 第1章 文献综述 |
| 1.1 聚酯概述 |
| 1.2 聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET） |
| 1.2.1 PET 的结构与性能 |
| 1.2.2 PET 的合成方法 |
| 1.2.3 PET 的应用 |
| 1.3 聚对苯二甲酸丁二醇酯（PBT） |
| 1.3.1 PBT 的结构与性能 |
| 1.3.2 PBT 的合成方法 |
| 1.3.3 PBT 的应用 |
| 1.4 生物质 |
| 1.4.1 生物质、生物质能及生物质产品的概述 |
| 1.4.2 生物质资源 |
| 1.4.3 生物质的转化及应用 |
| 1.4.4 生物质的发展趋势 |
| 1.5 2,5-呋喃二甲酸 |
| 1.5.1 2,5-呋喃二甲酸（FDCA）的结构与性能 |
| 1.5.2 2,5-呋喃二甲酸的合成方法 |
| 1.5.3 2,5-呋喃二甲酸的应用 |
| 1.6 FDCA 基聚酯 |
| 1.6.1 FDCA 基聚酯的概述 |
| 1.6.2 国内外对于 FDCA 基聚酯的研究进展 |
| 1.6.3 FDCA 基聚酯的应用及展望 |
| 1.7 本课题的目的、意义和研究内容 |
| 1.7.1 选题的目的、意义 |
| 1.7.2 主要研究内容 |
| 第2章 2,5-呋喃二甲酸的制备 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 实验部分 |
| 2.2.1 实验原料 |
| 2.2.2 实验仪器 |
| 2.2.3 实验操作及工艺条件 |
| 2.3 表征与测试 |
| 2.3.1 红外测试 |
| 2.3.2 核磁共振测试 |
| 2.3.3 高效液相色谱测试 |
| 2.3.4 热重测试 |
| 2.4 结果与讨论 |
| 2.4.1 反应时间的影响 |
| 2.4.2 NaOH 浓度的影响 |
| 2.4.3 反应物配比的影响 |
| 2.5 小结 |
| 第3章 聚 2,5-呋喃二甲酸-对苯二甲酸乙二醇酯（PEFT）的制备 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 实验部分 |
| 3.2.1 实验材料 |
| 3.2.2 实验仪器 |
| 3.2.3 实验操作及工艺条件 |
| 3.3 性能测试 |
| 3.3.1 特性粘度测试 |
| 3.3.2 差示扫描量热仪测试 |
| 3.3.3 热重分析 |
| 3.3.4 红外测试 |
| 3.4 结果与讨论 |
| 3.4.1 特性粘度分析 |
| 3.4.2 DSC 分析 |
| 3.4.3 TG 分析 |
| 3.4.4 红外谱图分析 |
| 3.5 小结 |
| 第4章 聚 2,5-呋喃二甲酸-对苯二甲酸丁二醇酯（PBFT）的制备 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 实验部分 |
| 4.2.1 实验材料 |
| 4.2.2 实验仪器 |
| 4.2.3 实验操作及工艺条件 |
| 4.3 性能测试 |
| 4.3.1 特性粘度测试 |
| 4.3.2 差示扫描量热仪测试 |
| 4.3.3 热重分析 |
| 4.3.4 红外测试 |
| 4.4 结果与讨论 |
| 4.4.1 特性粘度分析 |
| 4.4.2 DSC 分析 |
| 4.4.3 TG 分析 |
| 4.4.4 红外谱图分析 |
| 4.5 PEFT 与 PBFT 的对比 |
| 4.6 小结 |
| 第5章 结论 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 |
| 致谢 |
（8）超高真空器件精密清洗处理和放气分析研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 概述 |
| 1.2 国内外在本领域中的研究现状 |
| 1.3 论文的主要工作 |
| 1.4 课题研究意义 |
| 2 可伐合金清洗研究 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 酸洗研究 |
| 2.3 可伐电解清洗研究和实验 |
| 2.4 可伐合金等离子清洗研究 |
| 2.5 小结 |
| 3 陶瓷清洗研究 |
| 3.1 机械磨抛 |
| 3.2 喷砂清洗 |
| 3.3 酸蚀清洗 |
| 3.4 陶瓷等离子清洗研究 |
| 3.5 小结 |
| 4 焊料超声波清洗研究 |
| 4.1 焊料超声波清洗的机理分析研究 |
| 4.2 焊料超声波清洗工艺分析 |
| 5 不锈钢清洗研究 |
| 5.1 实验 |
| 5.2 实验结果及分析 |
| 5.2.1 超声波清洗 |
| 5.2.2 液体喷砂 |
| 5.2.3 机械抛光 |
| 5.2.4 酸洗净化 |
| 5.2.5 电解抛光 |
| 5.3 小结 |
| 6 微通道板(MCP)电子束清洗研究 |
| 6.1 引言 |
| 6.2 电子束清洗的物理过程及分析 |
| 6.3 小结 |
| 7 超高真空器件材料放气分析与研究 |
| 7.1 引言 |
| 7.1.1 材料放气理论研究概况 |
| 7.1.2 国内外材料放气特性研究概况 |
| 7.2 XPS对可伐金属表面的测量与分析 |
| 7.2.1 实验材料及方法 |
| 7.2.2 测量结果及讨论 |
| 7.3 陶瓷材料内部溶解气体放气分析 |
| 7.4 真空热清洗除气分析研究 |
| 7.4.1 模型的建立和计算 |
| 7.4.2 真空热清洗对材料表面除气分析 |
| 7.4.3 真空热清洗对可伐材料表面吸附气体的热脱附分析 |
| 7.5 小结 |
| 8 结论及展望 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 |
| 致谢 |
（9）紫外探测技术与双光谱图像检测系统的研究（论文提纲范文）
| 第1章 绪论 |
| 1.1 发展现状 |
| 1.2 研究意义及内容 |
| 参考文献 |
| 第2章 紫外探测技术 |
| 2.1 紫外光的大气传输特性 |
| 2.2 紫外探测器件 |
| 2.2.1 紫外探测器 |
| 2.2.2 紫外CCD |
| 2.2.3 MAMA紫外探测器 |
| 2.2.4 紫外光电倍增管 |
| 2.2.5 GaN紫外摄像机 |
| 2.3 关键技术 |
| 2.4 基本理论 |
| 参考文献 |
| 第3章 紫外光在转换屏中传输过程的蒙特卡洛模拟 |
| 3.1 紫外光子与转换屏的作用过程 |
| 3.1.1 转换屏简介及其发光粉层的模型 |
| 3.1.2 紫外光子与物质的作用过程 |
| 3.2 蒙特卡洛方法及模拟过程 |
| 3.2.1 蒙特卡洛方法简介 |
| 3.2.2 蒙特卡洛模拟过程 |
| 3.3 模拟结果 |
| 3.3.1 转换效率 |
| 3.3.2 传递函数模拟 |
| 参考文献 |
| 第4章 日盲紫外像增强系统 |
| 4.1 紫外像增强器 |
| 4.1.1 紫外光电阴极 |
| 4.1.2 紫外像增强器 |
| 4.2 日盲紫外像增强系统 |
| 4.2.1 紫外滤光 |
| 4.2.2 光谱转换 |
| 4.2.3 微光增强 |
| 4.3 日盲紫外像增强系统的应用 |
| 4.3.1 紫外图像观察仪 |
| 4.3.2 紫外图像观察仪的应用 |
| 参考文献 |
| 第5章 双光谱图像检测系统的研制 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 系统设计 |
| 5.2.1 光谱范围的选择 |
| 5.2.2 结构设计 |
| 5.2.3 关键技术的解决和系统其他部分的实现 |
| 5.3 图像处理 |
| 5.3.1 图像的预处理 |
| 5.3.2 图像融合 |
| 5.4 系统组成、原理及指标 |
| 5.4.1 组成原理 |
| 5.4.2 性能指标 |
| 5.5 实验结果 |
| 5.5.1 实验装置 |
| 5.5.2 实验结果 |
| 参考文献 |
| 第6章 总结与建议 |
| 6.1 总结 |
| 6.2 建议 |
| 参考文献 |
| 在学期间发表论文情况 |
| 致谢 |
（10）真空精炼锂的研究与氧化锂真空碳热还原初探（论文提纲范文）
| 中文摘要 |
| 中文关键词 |
| 英文摘要 |
| 英文关键词 |
| 1 文献综述 |
| 1.1 概述 |
| 1.2 锂的资源 |
| 1.2.1 国外锂资源 |
| 1.2.2 中国的锂资源 |
| 1.3 金属锂的性质 |
| 1.3.1 金属锂的物理性质 |
| 1.3.2 金属锂的化学性质 |
| 1.3.3 锂的核性质 |
| 1.4 锂的主要化合物 |
| 1.4.1 锂的氧化物 |
| 1.4.2 氢氧化锂 |
| 1.4.3 碳酸锂 |
| 1.4.4 氯化锂 |
| 1.4.5 溴化锂 |
| 1.5 金属锂的生产方法 |
| 1.5.1 锂盐的制备 |
| 1.5.1.1 硫酸法 |
| 1.5.1.2 硫酸盐法 |
| 1.5.1.3 石灰法 |
| 1.5.1.4 氯化焙烧法 |
| 1.5.1.5 卤水提锂 |
| 1.5.1.6 国内外锂盐制备工业的差距 |
| 1.5.2 金属锂的生产 |
| 1.5.2.1 金属锂的生产简史 |
| 1.5.2.2 电解机理和工艺条件 |
| 1.5.3 金属锂的精炼 |
| 1.5.3.1 机械净化法 |
| 1.5.3.2 化学净化法 |
| 1.5.3.3 真空蒸馏法 |
| 1.6 锂的应用 |
| 1.6.1 锂在冶金工业中的应用 |
| 1.6.1.1 锂在炼铝工业中的应用 |
| 1.6.1.2 锂在轻合金中的应用 |
| 1.6.2 锂在玻璃陶瓷工业中的应用 |
| 1.6.3 锂在润滑脂工业中的应用 |
| 1.6.4 锂在电池上的应用 |
| 1.6.5 锂在空调制冷工业上的应用 |
| 1.6.6 锂在原子能工业中的应用 |
| 1.6.7 锂在医药、化工、纺织等工业上的应用 |
| 1.7 锂的消费 |
| 1.8 真空冶金的发展及特点 |
| 1.8.1 真空冶金的发展史 |
| 1.8.2 真空冶金的特点 |
| 1.9 课题的提出、研究目的和内容 |
| 1.9.1 课题的提出 |
| 1.9.2 研究目的 |
| 1.9.3 研究内容 |
| 2 粗锂真空精炼的热力学分析 |
| 2.1 纯金属的蒸气压和蒸气分子的结构 |
| 2.2 粗金属中各元素可蒸馏分离的判据 |
| 2.2.1 纯物质的沸点或蒸气压判据 |
| 2.2.2 实际蒸气压判据 |
| 2.2.3 蒸馏系数判据 |
| 2.2.4 相对挥发度判据 |
| 2.2.5 分子蒸馏分离系数判据 |
| 2.2.6 分离系数判据 |
| 2.3 气液相平衡成分图 |
| 2.4 粗锂中的杂质在真空蒸馏时的行为的理论分析 |
| 2.4.1 Li-Na系气液相平衡成分图及Li、Na的分离 |
| 2.4.2 Li-K系气液相平衡成分图及Li、K的分离 |
| 2.4.3 Li-Mg系气液相平衡成分图及Li、Mg的分离 |
| 2.4.4 Li-Ca系气液相平衡成分图及Li、Ca的分离 |
| 2.4.5 Li-Al系、Li-Si系、Li-Fe系和Li-Ni系气液相平衡成分图及Li与Al、Si、Fe、Ni的分离 |
| 2.5 小结 |
| 3 粗锂真空精炼的动力学分析 |
| 3.1 待蒸发元素在熔体内的迁移 |
| 3.2 待蒸发元素的蒸发及其在气相中的迁移 |
| 3.2.1 待蒸发元素的蒸发 |
| 3.2.2 压强对蒸发速率的影响 |
| 3.2.3 温度对蒸发速率的影响 |
| 3.2.4 金属蒸气在气相中的迁移 |
| 3.2.5 粗金属各组分在真空蒸馏时的共同挥发 |
| 3.3 金属蒸气的冷凝 |
| 3.4 小结 |
| 4 粗锂真空蒸馏精炼的的试验研究 |
| 4.1 试验装置 |
| 4.2 试验原料 |
| 4.3 粗锂真空蒸馏精炼的试验结果与分析 |
| 4.3.1 试验原理和试验方法 |
| 4.3.2 试验结果与分析 |
| 4.4 金属锂真空蒸发动力学研究的试验结果和分析 |
| 4.4.1 试验方法 |
| 4.4.2 试验结果和分析 |
| 4.5 小结 |
| 5 真空碳热还原法制取金属锂的初步研究 |
| 5.1 概论 |
| 5.2 碳酸锂真空加碳热分解的初步研究 |
| 5.2.1 碳酸锂真空加碳热分解的热力学分析 |
| 5.2.2 碳酸锂真空加碳热分解的动力学分析 |
| 5.2.3 碳酸锂真空加碳热分解的试验研究及结果分析 |
| 5.2.3.1 试验装置 |
| 5.2.3.2 试验原料 |
| 5.2.3.3 试验方法 |
| 5.2.3.4 试验结果及分析 |
| 5.3 氧化锂真空碳热还原的研究 |
| 5.3.1 氧化锂真空碳热还原反应的热力学分析 |
| 5.3.2 氧化锂真空碳热还原的动力学分析 |
| 5.3.2.1 化学反应动力学控制的数学模型 |
| 5.3.2.2 扩散动力学控制的数学模型 |
| 5.3.3 氧化锂真空碳热还原的试验研究及结果分析 |
| 5.3.3.1 试验装置、试验原料和试验方法 |
| 5.3.3.2 试验结果及分析 |
| 5.4 小结 |
| 6 结论 |
| 参考文献 |
| 致 谢 |
| 个人简历 |
四、日本真空技术公司氧化铬透明掩模资料（论文参考文献）
- [1]日本真空技术公司氧化铬透明掩模资料[J]. 徐择典. 微电子学, 1975(S1)
- [2]国外彩色掩模研究概况[J]. 春雷. 微电子学, 1972(06)
- [3]氧化铬半透明掩模版的制备[J]. 照相制版组. 微电子学, 1975(06)
- [4]锆膜表面改性及其渗氢行为研究[D]. 陈绍华. 四川大学, 2002(02)
- [5]微构件拉伸测试技术及其力学性能研究[D]. 张段芹. 大连理工大学, 2009(07)
- [6]溶胶凝胶法制备均匀无裂纹的氧化锆薄膜[D]. 崔巍巍. 吉林大学, 2005(06)
- [7]2,5-呋喃二甲酸及其聚酯的制备[D]. 常萌. 北京服装学院, 2013(04)
- [8]超高真空器件精密清洗处理和放气分析研究[D]. 刘峰. 西安工业大学, 2013(07)
- [9]紫外探测技术与双光谱图像检测系统的研究[D]. 靳贵平. 中国科学院研究生院（西安光学精密机械研究所）, 2004(02)
- [10]真空精炼锂的研究与氧化锂真空碳热还原初探[D]. 陈为亮. 昆明理工大学, 2000(01)