一、130升/秒立式玻璃四极超高真空油扩散泵（论文文献综述）
杨敬尧[1]（2017）在《绝热材料放气速率实验装置的研制》文中提出随着我国低温行业的发展,液氧、液氮、液氢、液化天然气等低温工质的需求越来越大,各行各业对贮存和输送低温液体的低温容器的需求不断增长,且对低温容器绝热性能的要求也越来越高,而绝热材料放气特性是影响其真空下绝热性能的关键参数之一。本文根据GB/T 31480-2015,搭建了一台基于静态法的绝热材料放气速率实验装置,包括测试平台主体的设计、真空系统的设计及选型,数据采集策略和其他辅助试验设备。接着进行了腔体本底放气速率的测试,得到其本底放气速率为1.5′10-8Pa×m3/s,符合国标,满足设计要求。最后,利用静态法（定容法）分别对多层绝热材料（铝箔+玻璃纤维纸）、玻璃纤维纸以及铝箔三种样品进行了常温下放气速率的测试。试验结果表明多层绝热材料（铝箔+玻璃纤维纸）以及玻璃纤维纸的放气速率随着抽气时间的增加有明显的减小,其中多层绝热材料样品放气速率由2.24′10-7Pa×m3/s降低到6.06′10-8Pa×m3/s;玻璃纤维纸的放气速率由1.24′10-6Pa×m3/s降低到4.86′10-7Pa×m3/s;而铝箔的放气速率随抽气时间几乎不发生变化。通过四级杆质谱仪对玻璃纤维纸放气成分的质谱分析表明其主要放气成分为H2和H2O。绝热材料放气速率测试台的搭建及从中获取的材料放气速率试验数据可为未来绝热材料的应用、低温容器的设计以及抽空工艺的选择提供重要数据支撑。
钱永生[2]（2009）在《关于分子泵在荧光灯园排车上应用问题的讨论》文中研究指明1.前言随着国产分子泵生产工艺的日臻成熟和生产单位的日益增多,近耒,有些单位试图将分子泵用在"荧光灯园排车"的真空系统中,希望提高荧光灯的真空质量。对这种做法,我基本上持否定态度。
段献学[3]（2008）在《分子/增压泵结构、性能及其应用的研究》文中研究说明分子／增压泵是最近实现产业化的新型分子泵，它采用国际首创的专利结构，结构简单，运行稳定，兼容中高真空，具有广阔的应用前景。本文在充分讨论分子／增压泵抽气原理的基础上，介绍了它的结构和性能，并对其主要性能指标进行了测试。测试结果表明，分子／增压泵在中高真空具有强劲抽速，并可以获得清洁真空。鉴于分子／增压泵已成功应用于真空镀膜领域并取得显着效果，本文深入探讨和研究了分子／增压泵在磁控溅射离子镀膜机和大型连续镀膜生产线中的应用，为其在更多真空领域的应用奠定了理论和实验基础。分子／增压泵是新型泵种，它在每个真空技术领域的推广应用都是具有开拓性的。本课题的完成，是其产品化的一小步，却是其发展壮大的一大步。
张舟,李正海,J.P.Hobson[4]（1984）在《真空获得和测量的极限》文中提出本文系 J.P.Hobson 教授1983年在西班牙举行的第9届国际真空会议上的大会特邀报告。Hobson 教授详细地评述了近20多年来真空获得和测量方面的重要进展以及今后取得进一步突破的可能性。在最后一部分还介绍了近年来真空技术领域内的最新进展,很值得一读。
姜燮昌[5]（1984）在《国外真空工业的水平及对我国真空行业发展的几点初步意见》文中研究指明
陈建中[6]（1982）在《快速的简易的实验用极高真空系统》文中提出本文介绍一种实验室用的、抽气时间短、简易的极高真空系统。它由一台特殊设计的玻璃冷冻钛升华泵与超高真空玻璃油扩散泵串联所组成,可在10小时内从低真空抽到10-13托（使用新型的轴向式抑制规测）。文章介绍了该系统的结构特点,并分析了影响该系统极限真空的因素。
于广陵[7]（1981）在《四极质谱计的真空系统与取样装置》文中提出
郭元恒,杨乃恒[8]（1980）在《关于涡轮分子泵性能测试方法的几点意见》文中进行了进一步梳理
陈建中[9]（1978）在《电离吸气钛泵及其在金属陶瓷发射管排气中的应用》文中研究说明 无油超高真空技术对于电真空器件的研制和生产来说具有特殊的意义,它不但提高了电子管的发射功率,改善耐压性能,提高了管子的合格率和优品率,而且还缩短了排气时间,改善了排气的环境,不怕停电,是电真空器件提高产品质量一个有力的技术措施。钛泵是目前使用最为普遍的无油超高真空泵,它与油扩散泵相比的优点是:避免了油蒸汽的污染,容
李树田[10]（1978）在《英国、西德环境污染分析仪器考察》文中研究说明 概述应英国仪器制造商协会（SIMA）、中英贸易协会（SBTC）和西德工程师协会（VDI）的遨请,由中国机械工程学会派出的环境污染分析仪器考察组一行八人先后于一九七六年六月十五日至七月五日和七月十二日至二十三日在英国和西德（下简称两国）进行考察访问。
二、130升/秒立式玻璃四极超高真空油扩散泵（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、130升/秒立式玻璃四极超高真空油扩散泵（论文提纲范文）
（1）绝热材料放气速率实验装置的研制（论文提纲范文）
| 致谢 |
| 摘要 |
| abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 研究背景和意义 |
| 1.2 低温绝热技术的发展 |
| 1.2.1 低温绝热的方式 |
| 1.2.2 绝热形式的对比 |
| 1.2.3 高真空多层绝热技术的发展现状 |
| 1.3 材料放气速率测试技术的发展现状 |
| 1.3.1 国外发展现状 |
| 1.3.2 国内发展现状 |
| 1.4 本文主要工作 |
| 2 基于静态法的绝热材料放气实验装置的设计 |
| 2.1 实验装置的设计设想及实验原理 |
| 2.2 测试系统的设计及搭建 |
| 2.2.1 测试室的设计计算 |
| 2.2.2 进样室的设计计算 |
| 2.2.3 进样杆和插板阀 |
| 2.3 抽真空系统的设计 |
| 2.3.1 测试室真空系统的选型 |
| 2.3.2 进样室真空系统的选型 |
| 2.4 数据采集及控制系统 |
| 2.4.1 真空计 |
| 2.4.2 四级杆质谱仪 |
| 2.5 辅助系统 |
| 2.6 本章小结 |
| 3 绝热材料放气速率的测试实验及结果分析 |
| 3.1 试验步骤 |
| 3.1.1 测试样品 |
| 3.1.2 抽真空过程 |
| 3.1.3 试验数据记录 |
| 3.2 测试系统可靠性试验 |
| 3.3 多层绝热材料的放气速率 |
| 3.4 玻璃纤维纸的放气速率 |
| 3.5 铝箔的放气速率 |
| 3.6 三种样品静态放气速率的比较 |
| 3.7 误差分析 |
| 3.8 本章小结 |
| 4 绝热材料放气成分的质谱分析 |
| 4.1 放气成分分析原理 |
| 4.2 测试室的本底放气成分定性分析 |
| 4.3 玻璃纤维纸放气成分定性分析 |
| 4.4 本章小结 |
| 5 全文总结 |
| 5.1 论文的主要工作 |
| 5.2 论文的创新之处 |
| 5.3 对未来工作的建议 |
| 参考文献 |
| 作者简介 |
（3）分子/增压泵结构、性能及其应用的研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 引言 |
| 1.2 分子泵的分类、发展历史及前景 |
| 1.3 新一代分子泵──分子/增压泵 |
| 1.3.1 涡轮分子泵和复合分子泵的局限性 |
| 1.3.2 分子/增压泵 |
| 1.4 本课题研究的内容及意义 |
| 第二章 分子/增压泵的原理、结构及性能 |
| 2.1 传统分子泵的结构及其抽气原理 |
| 2.1.1 涡轮分子泵的结构及其抽气原理 |
| 2.1.2 传统牵引分子泵的结构及其抽气原理 |
| 2.1.3 复合分子泵的结构及其抽气原理 |
| 2.2 分子/增压泵的结构及其抽气原理 |
| 2.2.1 概述 |
| 2.2.2 分子/增压泵的基本结构 |
| 2.2.3 分子/增压泵抽气原理 |
| 2.3 分子/增压泵的性能 |
| 2.3.1 分子/增压泵性能综述 |
| 2.3.2 分子/增压泵与涡轮分子泵、罗茨泵和扩散泵的性能比较 |
| 第三章 分子/增压泵性能测试 |
| 3.1 分子泵测试原理 |
| 3.1.1 真空泵性能表示方法 |
| 3.1.2 真空泵抽速测量方法 |
| 3.2 分子/增压泵性能测试 |
| 3.2.1 分子/增压泵抽速测试 |
| 3.2.2 分子/增压泵极限真空测试 |
| 3.2.3 分子/增压泵高压强性能测试 |
| 第四章 分子/增压泵的应用 |
| 4.1 真空技术的应用概况 |
| 4.2 真空镀膜概述 |
| 4.3 分子/增压泵在箱体式磁控溅射、离子镀膜机上的应用 |
| 4.3.1 概述 |
| 4.3.2 分子/增压泵在镀膜机上的应用 |
| 4.3.3 总结 |
| 4.4 分子/增压泵在连续式磁控溅射镀膜生产线上的应用 |
| 4.4.1 概述 |
| 4.4.2 连续式生产线的设备结构及存在的问题 |
| 4.4.3 分子/增压泵在连续式生产线上的应用分析 |
| 4.4.4 实施 |
| 4.4.5 总结 |
| 4.5 分子/增压泵在其它真空应用领域的应用 |
| 4.5.1 分子/增压泵在重离子加速器大流量差分系统中的应用 |
| 4.5.2 分子/增压泵在灯管排气台中的应用 |
| 4.5.3 分子/增压泵在全膜高压电容器真空浸渍中的应用 |
| 第五章 总结 |
| 参考文献 |
| 发表论文 |
四、130升/秒立式玻璃四极超高真空油扩散泵（论文参考文献）
- [1]绝热材料放气速率实验装置的研制[D]. 杨敬尧. 中国计量大学, 2017(03)
- [2]关于分子泵在荧光灯园排车上应用问题的讨论[A]. 钱永生. 第六届华东三省一市真空学术交流会论文集, 2009
- [3]分子/增压泵结构、性能及其应用的研究[D]. 段献学. 合肥工业大学, 2008(05)
- [4]真空获得和测量的极限[J]. 张舟,李正海,J.P.Hobson. 真空与低温, 1984(03)
- [5]国外真空工业的水平及对我国真空行业发展的几点初步意见[J]. 姜燮昌. 真空, 1984(03)
- [6]快速的简易的实验用极高真空系统[J]. 陈建中. 真空科学与技术, 1982(02)
- [7]四极质谱计的真空系统与取样装置[J]. 于广陵. 真空, 1981(01)
- [8]关于涡轮分子泵性能测试方法的几点意见[J]. 郭元恒,杨乃恒. 真空, 1980(04)
- [9]电离吸气钛泵及其在金属陶瓷发射管排气中的应用[J]. 陈建中. 电子管技术, 1978(02)
- [10]英国、西德环境污染分析仪器考察[J]. 李树田. 分析仪器, 1978(01)